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AMBERJET UP6040 半導(dǎo)體級終端精制混床樹脂
AMBERJET UP6040是一種經(jīng)專門設(shè)計、制造，應(yīng)用于最高純度水處理系統(tǒng)的終端精制混床樹脂。此樹脂是由高交換容量，完全轉(zhuǎn)型的凝膠型強酸陽樹脂及強堿陰樹脂，依當(dāng)量平衡的比例，預(yù)先混合好的混床樹脂，其混合前已預(yù)先處理防止結(jié)團塊發(fā)生的可能性。陽陰樹脂顆粒的分布系經(jīng)仔細的選擇，以避免樹脂在加入水時因重力而分離。如此可確保在精制床容器內(nèi)的樹脂完全混合，并發(fā)揮最大的交換平衡效益，而均一性的顆粒大小加強樹脂的離子交換速率，使得此混床樹脂可應(yīng)用于較高的采水流量，并達到壓降及純度的最佳平衡點。上述的特點，使得此樹脂可在消耗最少的清洗水情形下，得到最高純度的純水。
AMBERJET UP6040是因應(yīng)使用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的超純水系統(tǒng)，及其他類似用途的需求，所特殊設(shè)計的不再生型終端精制混床樹脂。此樹脂的使用，使得所有種類的離子，如硅酸鹽、TOC及次微米顆粒濃度等的泄漏量，進入了新低的紀(jì)元。由于為不再生型，此新種類的半導(dǎo)級混床樹脂不會受到再生系統(tǒng)的影響，并可在采水中發(fā)揮最佳的特性。AMBERJET UP6040并不建議用于可再生的混床系統(tǒng)中。
樹脂基本特性
在不再生的終端精制床的應(yīng)用上，超純水的純度遠較樹脂的基本特性來的重要。因此，暸解樹脂的用途是很重要的，如此才可得到此樹脂的最高交換樹脂及總體的質(zhì)量。以下是AMBERJET UP6040的典型特性，其所使用的陽陰樹脂的數(shù)據(jù)顯示，AMBERJET UP6040為可符合高交換容量，均一樹脂顆粒的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)的離子交換樹脂。
陽樹脂H+ | 陰樹脂OH- | ||
含濕量，% | 44.0-51.0 | 54.0-60.0 | |
總交換容量，eq/L | 32.00 | 31.10 | |
均一系數(shù) | ￡1.20 | ￡1.20 | |
H型，%含量 | 399 | - | |
OH型，%含量 | - | 395.0 | |
Cl型，%含量 | - | ￡0.5 | |
CO3型，%含量 | - | ￡5.0 | |
SO4型，%含量 | - | ￡0.1 | |
為達最佳結(jié)果的建議操作條件 (此樹脂可用于此建議之外的操作條件，但結(jié)果可能不是最佳的) | |||
入水溫度 | 15-25oC (60-77oF) | ||
最小床深 | 900mm (3 feet) | ||
采水流速 | 30到50BV*/小時 | ||
建議入水水質(zhì) | |||
入水水質(zhì) | >17MW-cm | ||
入水二氧化硅濃度 | <2ppb | ||
入水總有機碳濃度(TOC) | <15ppb | ||
*1BV(床容積)=每1m3樹脂為1m3溶液 | |||
質(zhì)量保證
羅門哈斯公司針對AMBERJET UP6040測試了電阻值、總有機碳值及離子交換速率的特性，保證每批次的AMBERJET UP6040均能符合生產(chǎn)超純水所需要非常嚴(yán)苛的特性參數(shù)，并可滿足使用單位的需求。
下圖為羅門哈斯公司針對AMBERJET UP6040的質(zhì)量管理程序測試程序，所得到典型的TOC及電阻值曲線。
電阻值及TOC清洗曲線
